產品特點
使用半導體行業的SECS-GEM協議
花籃RFID,含有前一道工序的信息
上料時讀取RFID工藝信息
下料時寫入RFID工藝信息
MES對晶圓的跟蹤
產線上料和下料時讀取每片晶圓ID
上料時通過MES獲得每片晶圓的加工要求
下料時把每片晶圓完成的工藝上傳給EMS
跟蹤和報告每片晶圓的實際位置
AGV小車上下料
光伏行業和半導體行業采取AGV小車自動上下料,LasFocus公司產品均可與AGV對接和上下料。
直線型自動上下料或者自動下料
U型上下料,帶空花籃內循環
單軌、雙軌,一層或者兩層AGV上下料
晶圓跟蹤
每片晶圓有獨一無二的激光二維碼,工廠和產線使用Dot Matrix跟蹤晶圓
激光圖案 | 規格 |
<1x1mm,Dot Matrix |
工廠和產線使用RFID跟蹤花籃?;ɑ@輸送機在輸入和輸出花籃時讀取它的RFID,與工廠MES系統進行產品的工藝信息交互。
SECS-GEM協議
所有設備使用SECS-GEM協議,達到半導體行業標準