產品特點

• 使用半導體行業的SECS-GEM協議

• 花籃RFID，含有前一道工序的信息

• 上料時讀取RFID工藝信息

• 下料時寫入RFID工藝信息

• MES對晶圓的跟蹤

• 產線上料和下料時讀取每片晶圓ID

• 上料時通過MES獲得每片晶圓的加工要求

• 下料時把每片晶圓完成的工藝上傳給EMS

• 跟蹤和報告每片晶圓的實際位置

AGV小車上下料

  光伏行業和半導體行業采取AGV小車自動上下料，LasFocus公司產品均可與AGV對接和上下料。

• 直線型自動上下料或者自動下料

• U型上下料，帶空花籃內循環

• 單軌、雙軌，一層或者兩層AGV上下料

晶圓跟蹤

  每片晶圓有獨一無二的激光二維碼，工廠和產線使用Dot Matrix跟蹤晶圓

  工廠和產線使用RFID跟蹤花籃?；ɑ@輸送機在輸入和輸出花籃時讀取它的RFID，與工廠MES系統進行產品的工藝信息交互。

SECS-GEM協議

  所有設備使用SECS-GEM協議，達到半導體行業標準