產品特點

• IR激光切割晶圓，晶圓背對準或者正面對準

• 300mm/s高速切割，每片約2-3分鐘

• 配置有在線檢測功能，檢測激光切割效果和精度

• 背切或者正切割晶圓

• 晶圓堆疊上下料

產品簡介

• 產率2-3min/片，切割素的300mm/s

• 切割口寬度：25um

• 在線檢測功能，檢測激光切割效果和切割精度

• 背切或者正切割跪晶圓，IR波長國產或者進口激光

• 晶圓堆疊上料

• 除塵帶過濾器，接尾氣負壓管道外排

  自主研發的激光聚焦物鏡可以把激光聚焦到很小的光斑，使得激光切割刀口寬度主要25um左右，切割截面呈現“V"字形，降低了裂片時所需要的力量。